单通道阻尼用微机械陀螺仪【2025|PDF|Epub|mobi|kindle电子书版本百度云盘下载】

单通道阻尼用微机械陀螺仪PDF格式电子书版下载

注意：本站所有压缩包均有解压码： 点击下载压缩包解压工具

第1章 绪论1

1.1单通道阻尼用微机械陀螺仪应用背景及意义1

1.2微机械陀螺仪的发展现状2

1.2.1 MEMS技术2

1.2.2微机械陀螺仪的技术分类4

1.3硅微机械陀螺仪在国内外的研究现状5

1.3.1硅微机械陀螺仪在国外的研究现状5

1.3.2硅微机械陀螺仪在国内的研究现状7

1.4单通道阻尼用微机械陀螺仪概述8

1.4.1单自由度陀螺仪的工作原理简介8

1.4.2单自由度陀螺仪的三种主要类型9

1.5单通道阻尼用微机械陀螺仪的特点10

1.6本章小结11

第2章 单通道阻尼用硅微机械陀螺仪的结构设计12

2.1硅微机械陀螺仪结构设计12

2.1.1结构原理12

2.1.2工艺制作步骤设计16

2.2电容敏感设计20

2.3敏感元件扭转梁的设计23

2.3.1敏感质量块的转动惯量24

2.3.2弹性扭转梁的抗扭转刚度系数25

2.3.3敏感元件的固有频率26

2.4振动模态的有限元分析与仿真26

2.4.1有限元模型的建立27

2.4.2有限元求解29

2.5敏感元件固有频率测试30

2.6本章小结33

第3章 单通道阻尼用微机械陀螺仪的运动方程34

3.1硅微机械陀螺仪工作原理34

3.2硅微机械陀螺仪运动方程36

3.2.1建立坐标系36

3.2.2运动方程式的推导37

3.2.3敏感元件压膜阻尼系数的分析42

3.3硅微机械陀螺仪运动方程的解46

3.3.1方程的瞬态解47

3.3.2方程的稳态解48

3.4本章小结52

第4章 硅微机械陀螺仪信号处理电路的设计与分析54

4.1 C/V转换电路的设计与分析54

4.1.1电容拾取电路的设计与分析55

4.1.2提高检测灵敏度的改进措施57

4.1.3差分放大电路的设计与分析61

4.2硅微机械陀螺仪调理电路的设计与分析62

4.2.1带通滤波器电路的设计与分析63

4.2.2低通滤波器电路的设计与分析64

4.2.3相位补偿电路的设计与分析65

4.2.4相位补偿电路动态仿真分析66

4.3调理电路频率带宽的扩展68

4.4本章小结72

第5章 单通道阻尼用微机械陀螺仪性能的测试73

5.1有干扰时硅微机械陀螺仪运动的微分方程式73

5.1.1简化后的硅微机械陀螺仪的工作原理73

5.1.2有干扰时硅微机械陀螺仪运动的微分方程76

5.2硅微机械陀螺仪的静特性及其测试77

5.2.1静特性及误差77

5.2.2静特性测试80

5.3硅微机械陀螺仪的动态特性及其测试84

5.3.1频率特性84

5.3.2幅频特性测试86

5.3.3相频特性测试89

5.4硅微机械陀螺仪几个关键动态时域性能91

5.4.1抗冲击性能91

5.4.2抗舵偏打性能97

5.4.3启动时间性能102

5.5本章小结105

第6章 单通道阻尼用微机械陀螺仪误差模型及其补偿108

6.1硅微机械陀螺仪输出信号的误差模型108

6.1.1误差模型的建立与分析108

6.1.2误差模型的实验验证110

6.2提高硅微机械陀螺仪标度因数稳定性的补偿算法112

6.2.1统计补偿算法112

6.2.2微商补偿算法117

6.3硅微机械陀螺仪质量偏心分析及其补偿119

6.4本章小结123

第7章 硅微机械陀螺仪在单通道阻尼回路中的应用125

7.1旋转飞行器姿态运动125

7.1.1姿态运动的轨迹方程126

7.1.2姿态运动形式126

7.1.3姿态运动形式仿真模拟131

7.2硅微机械陀螺仪敏感输出信号模型135

7.2.1输入偏航或俯仰角速度时陀螺仪敏感输出信号139

7.2.2输入偏航、俯仰合成角速度时陀螺仪敏感输出信号143

7.3硅微机械陀螺仪在单通道姿态控制系统中的应用159

7.3.1旋转飞行载体的单通道姿态控制系统159

7.3.2横向输入角速度解算163

7.4本章小结170

附录A171

附录B176

附录C178

参考文献202